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电子级高纯气体管路

微电子、光电子和生物制药等行业对传输敏感或腐蚀性介质的高纯、洁净管道系统一般都接纳灼烁退火(BA)、酸洗或钝化(AP)、电解抛光(EP)及真空二次溶解(VIM+VAR)产物电子级高纯气体管路。

A.电解抛光(Electro-Polished)简称EP。通过电化学抛光,可以提高外貌形态及结构,使表层实际面积获得很洪流平的淘汰。外貌是一层关闭的、厚厚的氧化铬膜,能量接近合金的正常水平,同时介质数量也会降低--通常适用于电子级高纯气体。

电解抛光是利用阳极处置的方式借由电化学的原理适当地调整电压、电流、酸液组成、以及抛光时间。不光可使外貌到达明亮、顺滑、洁净的效果更可提升外貌的抗蚀性,故是最佳的亮化外貌要领虽然其成本与技术也提高。不外因为电解抛光会凸显钢管外貌的原始状态所以若钢管外貌有严重刮伤、孔洞。

B.灼烁退火(Bright Annealing)简称BA。在加氢或真空状态高温热处置,一方面内部应力,另一方面在管道外貌形成一层钝化膜,以改变形态结构,淘汰能量水平,但不会提高外貌粗拙度--通常适用于GN2,CDA,以及非工艺的惰性气体。

钢管在抽制的历程中一定会需油脂润滑而晶粒也会因加工而变形。为了制止这个油脂残留在钢管中,除了要清洗钢管外,尚可利用高温在高温退火以消除变形时,以氩气充当炉内气氛,借由氩与钢管外貌的碳氧结合燃烧进一步清洁钢管的外貌,发生亮面的效果。故这种利用纯氩气退火加热并快速冷却以亮化光面的方式叫辉煌退火。虽然利用此种方式来亮化外貌可保钢管充实洁净无任何外来污染。但这种外貌的明亮度若与其他抛光方式相较机械、化学、电解会有较雾面的感受。虽然其效果也与氩气的含量与加热的次数有关。

C.酸洗或钝化(Pickled & Passivated/Chemically Polished)简称AP和CP。管道经过酸洗或钝化,不会提高外貌粗拙度,但可去除外貌残存的颗粒,降低能量水平,但不会淘汰介层数量--通常使用于工业级管道。

AP即酸洗处置, 利用硝酸与亚氟酸等酸性溶液来除去钢管的氧化层。自制快速但容易造成晶界腐蚀且内外外貌较粗拙易有悬浮杂质附着。

D.真空二次溶解洁净管Vim(Vacuum Induction Melting)+Var(Vacuum ArcRemelting)简称V+V

为住友金属公司产物,经过真空状态下电弧条件下再次处置,提高了耐腐蚀性及外貌粗拙度--通常适用在腐蚀性较强之高纯电子级气体上,如:BCL3,WF6,CL2,HBr等。

E、即机械抛光 Mechanical polishing 简称MP

常用于钢管外貌的氧化层、孔洞与刮痕其亮度与效果则取决于加工方式的种类。另外机械抛光后,虽较美观但也会降低抗蚀性所以当用在腐蚀情况下需再经过钝化处置,而且钢管外貌常有抛光质料残留。

F、机械拉拔(Plug draw)简称PD

以塞栓精密冷拔来提高外貌粗拙度,可以提高外貌结构,但不会改善形态结构、能量水平和介层数量。作为最基本的外貌处置工艺,机械拉拔的粗拙度为其他外貌处置工艺奠基了基础。

G、羽布抛光(Buffed Polished) 简称BP

装饰不锈钢业常用的用来提高外貌灼烁度的方式,尽管Ra值可能很好,但在电子显微镜下可视察到许多裂缝,实际外貌积扩大,局部有疏散出来的铁素体及马氏体结构。外貌夹杂许多杂质,如研磨颗粒。由于使用抛光膏,许多能量被储存在原先获得凹陷中,使得介质数量也会增加。这种管道一般不允许使用在微电子、光电子及生物制药的敏感、腐蚀介质中。

H、亚电化学抛光(Anodical Cleaning) 简称AC

欧洲工厂在BA基础上再进行一道外貌处置工艺,即轻度电解抛光工艺,以尽可能地淘汰表层面积,加厚钝化膜,从而增加耐腐蚀性能、改善外貌的形态结构、淘汰能量水平。经过这种外貌处置方式之后的产物虽然没有前面的灼烁,但外貌质量有了很大的提高,不会发生颗粒,淘汰表层铁和氧化铁的身分。

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